磁控濺射生產(chǎn)線
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)參數(shù) |
|---|
| 設(shè)備型號 | ZCJ-300(600、1200) |
|---|
| 極限真空 | 8×10-5Pa |
| 腔室功能分類 | 進(jìn)、出樣室(1000Pa) |
| 過渡室(0.5Pa) |
| 緩沖室(壓力及氣氛匹配濺射室) |
| 濺射室(0.5Pa) |
| 濺射靶類型 | 矩形平面靶、圓柱旋轉(zhuǎn)靶 |
技術(shù)參數(shù) |
|---|
| 樣品幅寬 | 300、600、1200mm |
|---|
| 常用靶材 | ITO、NiO2、Cu |
| 靶基距 | 80~120mm |
| 鍍膜節(jié)拍 | ≥60s |
| 連續(xù)運(yùn)行時間 | ≥200h |
| 片內(nèi)膜厚均勻性 | ≤±3% |
| 片間膜厚均勻性 | ≤±3% |
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